提供您在CIS/ALS/光傳感器晶圓級測試中所需的一切。

SG-O光炎量子效率分析儀光傳感器晶圓測試儀是一款CIS/ALS/Light-Sensor晶圓測試儀，它結合了高度均勻的光源和半自動晶圓探測器。高度均勻光源可以提供從400nm到1700nm的連續白光光譜，以及在許多不同波長下具有一定FWHM的單色光輸出。探測器可以處理大。200mm晶圓尺寸和尺寸大于1cmx1cm的單芯片。SG-O集成了超低噪音熱卡盤，可提供 -60°C至180°C的溫度范圍，具有快速的升溫速度和穩定性。SG-O提供您在CIS/ALS/光傳感器設計驗證或工藝良率檢查中所需的一切。

SG-O光炎量子效率分析儀光傳感器晶圓測試儀特點：

應用：

CIS/ALS/光傳感器晶圓測試

CIS/ALS/光傳感器晶圓映射和良率檢查

ToF傳感器測試

激光雷達傳感器測試

InGaAs PD測試

SPAD傳感器測試

光傳感器模擬參數測試：

量子效率

光譜響應

系統增益

靈敏度

動態范圍

暗電流/噪聲

信噪比

飽和容量

線性誤差（LE）

DCNU（暗電流非均勻性）

PRNU（光響應非均勻性）

系統設計：

SG-O CIS / ALS / Light-Sensor測試儀（晶圓級）系統圖。高度均勻的光源由PC-1控制。光輸出由光纖引導到光學均化器以產生均勻的光束。顯微鏡和均質器由PC-1的自動平移臺控制，以切換位置和功能。Prober系統為MPI TS2000，由PC-2 控制。卡盤臺的位置也由PC-2控制。熱卡盤溫度可控制在-55℃至180℃，涵蓋了大部分 IC測試溫度范圍。光強度由一個Si 光電探測器和一個InGaAs光電探測器通過皮安電流表檢測和校準。

規格：

主要表現

SG-O系統的操作軟件。對于高度均勻光源控制軟件，SG-O提供光源系統控制和光強測量。提供了各個光學組件的 Labview功能調色板、驅動程序/DLL文件。該軟件控制所述平移臺以促進照射大是在零件的設備。集成鏈接的整合包括發送/接收命令，例如芯片步進、芯片對齊/探測等。